Ionenimplantation: Neue Turbopumpe für leichte Gase
Pfeiffer Vacuum hat mit der HiPace 2800 IT eine neue Turbopumpe für Ionenimplantations-Prozesse auf den Markt gebracht. Die Rotorkonstruktion der Turbopumpe ermöglicht ein verbessertes Saugvermögen für leichte Gase.
Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Prozesse der Ionenimplantationkonzipiert ist. Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen fürleichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantations-Prozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s für Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die beste Turbopumpe ihrer Klasse.
Ionenimplantation als Grundlage für lange Prozesslebensdauer
Das intelligente Temperaturmanagementsystem verhindert Prozesskondensation und -ablagerungen innerhalb des Pumpsystems. Es ermöglicht die individuelle Einstellung der Temperatur, um den Prozess optimal zu unterstützen. Die spezielle Beschichtung des Rotors gewährleistet die Beständigkeit gegenüber allen Materialien für Ionenimplantationsprozesse.
Basierend auf einem sogenannten Hybridlager, einer Kombination aus Keramikkugellagern auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, zeichnen sich diese HiPace-Turbopumpen durch eine besonders robuste Lagerausführung aus. Zusammen mit der speziellen Rotorbeschichtung bildet die Ionenimplantation die Grundlage für die lange Prozesslebensdauer und Zuverlässigkeit der Pumpen.
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